Исследование наноматериалов методами сканирующей зондовой микроскопии презентация

Краткая история 1981 год – изобретение сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) 1986 год – изобретение атомно-силового микроскопа (АСМ) 1986 год – Нобелевская премия по физике за создание СТМ 1990 год – создание промышленной технологии производства кантилеверов 1990 год – начало развития второго поколения зондовых микроскопов 2000 - Начало бурного развития ближнеполной оптической микроскопии

Сравнительные характеристики

Классификация методов СЗМ

Основные части Зондового микроскопа Структурная схема сканирующего зондового микроскопа (для приборов, в которых сканирование осуществляется образцом)

Пассивная защита СЗМ от вибраций низкая резонансная частота системы виброзащиты и высокая резонансная частота СЗМ-узла ↓ наилучшая защита от внешних механических вибраций

Схема активной защиты СЗМ от вибраций

Принципы защиты СЗМ от термо- расширений симметризация конструкции включение компенсирующих элементов применение материалов с низким КТР

Представление полученной информации

Вычитание постоянной составляющей Вычитание постоянной составляющей Вычитание поверхности 2ого порядка неидеальность сканера Усреднение по строкам Фильтрация СЗМ изображений (например, медианная фильтрация) устранение шумовой составляющей Фурье фильтрация СЗМ изображений

Конечный размер рабочей части зонда Конечный размер рабочей части зонда ухудшение пространственного разрешения микроскопа искажения при сканировании поверхностей с неровностями, сравнимыми с характерными размерами рабочей части зонда

Обратное преобразование Обратное преобразование СЗМ изображение поверхности численно «сканируется» инвертированным зондом Форма зонда определяется экспериментально сканированием тестовых структур или по тестовым изображениям в SEM