Применение клеточных автоматов в математическом моделировании технологии микро- и наноэлектроники презентация

Применение клеточных автоматов в математическом моделировании технологии микро- и наноэлектроники Часть II: Клеточно-автоматное моделирование физико-химических процессов микро- и наноэлектроники

Содержание Предварительные замечания Семантика клеточных автоматов (КА) на гексагональной сетке КА-модель ионной имплантации: концептуальный анализ и формализация КА-модель ионной имплантации: параметризация и результаты КА-модель образования нанокластеров кремния в матрице SiOx (x<2) Заключительные замечания

I. Предварительные замечания

II. Семантика КА на гексагональной сетке

Фуллереновая сетка

Кубированная сфера

Модель гетерофазной бимолекулярной реакции

Таблица парных переходов

III. КА-модель ионной имплантации: концептуальный анализ и формализация

Кванты времени и пространства

Геометрия поля и шаблона окрестности КА

Состояние ячейки Часть переменных относится к ионно-пролетной подмодели, другая – к процессам первичного дефектообразования, что является связующим звеном к медленной подмодели. Для хранения величин в программе SoftCAM удобно использовать тип byte.

Классификация «столкновений» в ионно-пролетной модели. Правила первого полухода. В контексте КА «столкновение» - это результирующее изменение положения и/или импульса иона в результате одного или нескольких «физических» столкновений с атомами мишени в пределах ячейки КА

Второй полуход: правила перехода

IV. КА-модель ионной имплантации: параметризация и результаты

Расчет вероятностей

Расчет потерь энергии

V. КА-модель образования нанокластеров кремния в матрице SiOx (x<2)

Алгоритм поиска кластеров

VI. Заключительные замечания КА-моделирование особенно плодотворно в области технологии микроэлектроники; На этапе конструирования КА-модели важно наладить диалог со специалистами предметной области, которые привыкли иметь дело с непрерывными моделями, отчего возможно недопонимание; на примере двух последних КА-моделей видно, как сложно вводить новые термины («столкновение», «диффузионный скачок») или новое условное понимание старых терминов; Как всегда, сложен вопрос параметризации (не всегда помогает даже изощренная процедура, включающая дорасчетное решение уравнений и обращающая к низкоуровневым моделям/результатам); многие параметры приходится подбирать, что сопряжено с серией долговременных пробных запусков КА-расчета