Электронно-лучевая литография презентация
Содержание
- 2. Сканирующая электронная лучевая литография
- 5. Термокатод W: Термокатод W:
- 9. Взаимодействие электронов с твердым телом
- 10. Основные формулы:
- 12. Примеры структур
- 13. Примеры структур: наностолбики
- 14. Примеры структур: нанорешётки
- 15. Установки электронной литографии Raith150 Beam size ≤ 2nm @ 20 keV
- 16. Электронная проекционная литография
- 17. Скачать презентацию
Слайды и текст этой презентации