ЗАКОНОМЕРНОСТИ, МЕТОДЫ И ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕМНЫХ МИКРОСТРУКТУР В ФОТОПОЛИМЕРНЫХ НАНОКОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛАХ презентация

ЗАКОНОМЕРНОСТИ, МЕТОДЫ И ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕМНЫХ МИКРОСТРУКТУР В ФОТОПОЛИМЕРНЫХ НАНОКОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛАХ Булгакова В.Г. гр. 4350 кафедра ФиОИ Научный руководитель канд. техн. наук Ворзобова Н.Д. кафедра ОКРС

ГЛУБОКАЯ ЛИТОГРАФИЯ

ПРИМЕРЫ ПОЛИМЕРНЫХ МИКРОСТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ (X-ray deep lithography)

Процессы, исследованные в данной работе основаны на самоорганизации фотоотверждаемого материала, исследованного в работах: 1. И.Ю. Денисюк, Ю.Э. Бурункова, М.И. Фокина, Н.Д. Ворзобова, В.Г. Булгакова // Оптический журнал т. 75, № 10, 2008, стр. 59-65. 2. Denisyuk I.Yu., Fokina M.I., Vorzobova N.D., Burunkova Yu.E., Bulgakova V.G. // Mol. Cryst. Liq. Cryst., Vol. 497, pp. 228–235, 2008.

УСЛОВИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА Экспериментальная установка, экспонирование 365 нм.

Используемые вещества

ЗАКОНОМЕРНОСТИ РОСТА МИКРОСТРУКТУР В ВЫСОТУ

ЗАВИСИМОСТИ РОСТА МИКРОСТРУКТУР В ШИРИНУ

ЗАВИСИМОСТИ РОСТА МИКРОСТРУКТУР В ШИРИНУ

СЛИЯНИЕ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСТРУКТУР

ЗАВИСИМОСТЬ НАИМЕНЬШЕГО РАССТОЯНИЯ МЕЖДУ ЭЛЕМЕНТАМИ ОТ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ЭКСПОЗИЦИИ И ПЛОТНОСТИ ШАБЛОНА

ПРИМЕРЫ ПОЛУЧЕННЫХ МИКРОСТРУКТУР

ВЫВОДЫ Показано, что элементы вначале образуются по центру экспонирующего пучка света и затем при увеличении экспозиции их ширина увеличивается. При этом боковые поверхности вертикальны в течении всего процесса. Установлена зависимость высоты образующихся между парами микроэлементов паразитных мостиков от величины экспозиции и расстояния между ними при приближении микроэлементов друг к другу Показано, что при увеличении расстояния между элементами микроструктур уменьшается их поперечный размер Определены минимальные расстояния между элементами, что важно для создания элементной базы в области биотехнологий.

СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ Булгакова В.Г., Бурункова Ю.Э., Ворзобова Н.Д. Особенности формирования микроструктур с высоким форматным отношением при фотоотверждении полимера // Научно-технический Вестник СПб ГУИТМО. — 2008. — Вып. 52. — С.32-37. Булгакова В.Г., Ворзобова Н.Д. Закономерности, методы и технологии формирования объемных микроструктур в фотополимерных нанокомпозиционных материалах // Научно-технический Вестник СПб ГУ ИТМО (сдана в редакцию). —2009. Denisyuk I.Yu., Fokina M.I., Vorzobova N.D., Burunkova Yu.E., Bulgakova V.G. Microelements with high aspect ratio prepared by self-focusing of the light at UV-curing// Molecular Crystals and Liquid Crystals. —2008. — V.497. — P.560-567. Денисюк И.Ю., Бурункова Ю.Э., Фокина М.И., Ворзобова Н.Д., Булгакова В.Г. Формирование микроструктур с высоким форматным отношением в результате самофокусировки света в фотополимерном нанокомпозите // Оптический журнал. — 2008. — Вып. 75. —№ 10. — С.59—65.

КОНФЕРЕНЦИИ Булгакова В.Г., Ворзобова Н.Д. Формирование микроэлементов и микроструктур в УФ-отверждаемом нанокомпозите, V международная конференция молодых ученых и специалистов «Оптика- 2007», 15-19 октября, 2007, Санкт-Петербург, Россия. Денисюк И.Ю., Бурункова Ю.Э., Фокина М.И., Ворзобова Н.Д., Булгакова В.Г. Формирование микроструктур с высоким форматным отношением в результате самофокусировки света в фотополимерном нанокомпозите, XXXVII научная и учебно-методическая конференция СПбГУ ИТМО, 29 января -1 февраля, 2008, Санкт-Петербург, Россия. Булгакова В.Г., Бурункова Ю.Э., Ворзобова Н.Д. Особенности формирования микроструктур с высоким форматным отношением при фотоотверждении полимера, V Всероссийская межвузовская конференция молодых ученых, 15-18 апреля, 2008, Санкт-Петербург, Россия. Денисюк И.Ю., Фокина М.И., Ворзобова Н.Д., Бурункова Ю.Э., Булгакова В.Г. Получение микроэлементов с высоким форматным отношением при самофокусировке УФ света(Denisyuk I.Yu., Fokina M.I., Vorzobova N.D., Burunkova Yu.E., Bulgakova V.G Microelements with high aspect ratio prepared by self-focusing of the light at UV-curing.), VII Международная конференция «Электронные процессы в органических материалах», 26-30 мая, 2008 , Львов, Украина. Булгакова В.Г. Особенности формирования полимерных микроструктур в УФ-отверждаемом нанокомпозите, Научная молодежная школа «Оптика-2008» , 20-25 октября, 2008, Санкт-Петербург, Россия. Ворзобова Н.Д., Булгакова В.Г. Размерные эффекты при формировании полимерных микроструктур в светоотверждаемом нанокомпозите, Международная конференция «Прикладная оптика- 2008» , 20-25 октября, 2008, Санкт-Петербург, Россия. Булгакова В.Г. Закономерности, методы и технологии формирования объемных микроструктур в фотополимерных нанокомпозиционных материалах, VI Всероссийская межвузовская конференция молодых ученых, 14-17 апреля, 2009, Санкт- Петербург, Россия. Булгакова В.Г., Ворзобова Н.Д. Исследование закономерностей роста микроструктурных элементов при фотополимеризации нанокомпозиционных материалов, школа-семинар «Актуальные проблемы физики и технологий», 22 апреля, 2009, Санкт-Петербург, Россия.