Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферомет презентация

Лекция 11 Оптические измерения

Темы лекции Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре.

Зачем нужно контролировать форму поверхности? Для минимизации искажений изображения Точность формы <=> точность волнового фронта

Виды ошибок Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного Местная ошибка – отклонение части поверхности Измеряется в количестве интерференционных колец (λ/4)

Пробное стекло

Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей Профилометр Чувствительный датчик с головкой, касающейся поверхности детали Применяется для оценки шероховатости, а также оценки искривления плоской поверхности Широко применяется для оценки поверхности кремниевых пластин в микроэлектронике

Теневой метод Фуко (нож)

Метод Гартмана

Интерферометр Физо

Неравноплечий лазерный интерферометр

Микроинтерферометр

Интерферометр с рассеивающей пластиной