Способы и средства получения вакуума презентация

Литература Розанов Л.Н. Вакуумная техника. – М.: Высшая школа, 2007. Шимони К. Физическая электроника. – М.: Энергия, 1977. Воробьев М.Д. Полупроводниковая и вакуумная электроника. – М.: Издательский дом МЭИ, 2005..2010.

Способы и средства получения вакуума

Вакуум

Структурная схема установки для получения высокого вакуума в откачиваемом объеме

Пластинчато-роторный форвакуумный насос

Пластинчато-статорный форвакуумный насос

Схема молекулярной откачки

Схема пароструйной откачки

Турбомолекулярный насос

Вакуумметры

Термопарный манометрический преобразователь

Термопарный манометрический преобразователь

Схема включения ионизационного манометрического преобразователя

Ионизационный манометрический преобразователь

Охлаждаемые ловушки

Система для получения высокого вакуума

1. Способы получения вакуума 2. Методы и приборы для получения вакуума 3. Система для получения высокого вакуума

Термоэлектронная эмиссия Термоэлектронные катоды

Термоэлектронная эмиссия Контакт металл - вакуум

Энергетическая диаграмма контакта металл – вакуум

Основное уравнение термоэлектронной эмиссии (уравнение Ричардсона)

Энергетическая диаграмма контакта полупроводник - вакуум

Распределение эмитированных электронов по начальным скоростям

Вольт-амперная характеристика вакуумного диода при задерживающем электрическом поле между анодом и катодом

Задача1 Рассчитать ток в диоде, у которого плоский эмиттер электронов имеет площадь 0,1 кв.см, температуру 2700 К и напряжение коллектора электронов (анода) минус 1 В. Работа выхода эмиттера составляет 4,5 эВ.

Термоэлектронные катоды из чистых металлов (W)

Снижение работы выхода при нанесении пленки чужеродных атомов

Оксидный катод косвенного накала

Металлопористый катод

Оксидные катоды

Металлопористые катоды

1. Механизм термоэлектронной эмиссии, энергетические диаграммы контактов металл-вакуум, полупроводник – вакуум. 2. Уравнение Ричардсона, последовательность вывода, работа выхода. 3. Распределение электронов по начальным скоростям при термоэмиссии, вольт-амперные характеристики при задерживающем электрическом поле, влияние температуры. 4. Влияние внешнего электрического поля на термоэмиссию, нормальный эффект Шоттки. 5. Термоэлектронные катоды из чистых металлов, эффективные термокатоды. Основные эмииссионные параметры, виды конструктивного оформления.

Автоэлектронная эмиссия Автоэлектронные катоды

Энергетическая диаграмма контакта металл-вакуум при больших электрических полях

Прозрачность потенциального барьера

К расчету тока автоэлектронной эмиссии

Плотность тока автоэлектронной эмиссии

Уравнение Фаулера - Нордгейма

Диодная микроячейка с автоэлектронным катодом

Матричный автоэлектронный катод

Просвечивающий электронный микроскоп

1. Механизм и особенности АЭ эмиссии. 2. АЭ – катоды, конструктивные особенности. Области практического использования АЭ эмиссии.

Вторичная электронная эмиссия

Вторичная электронная эмиссиия Коэффициент вторичной эмиссии

Механизм возникновения вторичной электронной эмиссии

Зависимость коэффициента вторичной эмиссии от энергии первичных электронов

Зависимость вторичной эмиссии от угла падения первичных электронов

Распределение вторичных электронов по энергиям

Зависимость вторичной эмиссии от рельефа поверхности

Подавление влияния вторичной эмиссии в электровакуумных приборах

Электронный умножитель

Вторичная эмиссия полупроводников с различными соотношениями энергии электронного сродства и ширины запрещенной зоны

1. Вторичная электронная эмиссия. Механизм возникновения. Зависимость от энергии, угла падения первичных электронов и рельефа поверхности. 2. Влияние вторичной электронной эмиссии на работу ЭВП. Способы подавления и усиления вторичной электронной эмиссии.

Фотоэлектронная эмиссия

Оптический диапазон электромагнитного излучения

Фотоэлектронная эмиссия

Фотоэлектронная работа выхода Закон Эйнштейна

Задача 2. Определить максимальное значение работы выхода металлического эмиттера фотоэлектронов, у которого может наблюдаться фотоэффект в видимой части оптического диапазона

Задача 3 Определить, каким должно быть напряжение анода в диоде с металлическим фотоэмиттером, чтобы анодный ток был равен нулю. На эмиттер падает излучение с длиной волны 200 нм, работа выхода эмиттера равна 3,5 эВ.

Фотоэлектронная и термоэлектронная работа выхода полупроводников

Фотоэлектронные катоды

Cs2Te, MgF2, RbTe Cs3Sb 30 – 100 мкА/лм (40 – 80 мА/Вт) макс Ag0 - Cs

1.Фотоэлектронная эмиссия из металлов и полупроводников. Основные законы, фотоэлектронная работа выхода. 2. Фотоэлектронные катоды, основные параметры, спектральная характеристика. Области использования