Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2) презентация
Содержание
- 5. Иммерсионная литография: увеличение числовой апертуры (NA) NA = n sinθ,
- 10. Установка иммерсионной литографии
- 16. Экстремальная ультрафиолетовая литография
- 17. Источник импульсной лазерной плазмы
- 59. S-FIL технология
- 60. Импринтинг: технология
- 61. Обращенный импринтинг (S-FIL/R process)
- 62. Преимущества импринтинга
- 63. Импринтинг по планаризированному рельефу
- 83. Скачать презентацию
Слайды и текст этой презентации
Скачать презентацию на тему Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2) можно ниже: