Б.Г.Гольденберг LIGA-технология: базовые принципы и применение презентация
Содержание
- 2. СИ – уникальный технологический инструмент
- 3. СИ – уникальный технологический инструмент
- 5. Рентгенолитография: Воздействие СИ на полимеры
- 6. Рентгенолитография: Воздействие СИ на ПММА
- 7. Рентгенолитография:
- 8. Рентгенолитография:
- 11. Изготовление микроструктур
- 12. Микросистемная техника
- 15. Изготовление микроструктур
- 16. Изготовление микроструктур электронная литография, Е=30 кэВ
- 17. Изготовление микроструктур фотолитография УФ =3650 А
- 19. Чистая комната:
- 20. Чистая комната: Установка полирования POLI-100
- 21. Чистая комната: центрифуга Spincoater Model P - 6708D нанесение полимерных пленок
- 22. Чистая комната: установка плазмохимии и магнетронного напыления BookEdwards и вакуумная печь
- 23. Чистая комната: участок оптической и электронной микроскопии
- 24. Технологический комплекс LIGA в ИЯФ СО РАН:
- 28. LIGA-станции в иных центрах СИ
- 29. Создание и исследование рентгеношаблонов для ГРЛ Рентгеношаблон– рисунок из рентгенопоглощающего материала
- 46. Влияние дифракции и вторичных электронов на разрешающую способность
- 52. Спасибо за внимание ! Спасибо за внимание !
- 55. Скачать презентацию
Слайды и текст этой презентации
Слайд 1
Описание слайда:
Б.Г.Гольденберг
LIGA-технология:
базовые принципы и применение
Слайд 2
Описание слайда:
СИ – уникальный технологический инструмент
Слайд 3
Описание слайда:
СИ – уникальный технологический инструмент
Слайд 4
Описание слайда:
Слайд 5
Описание слайда:
Рентгенолитография:
Воздействие СИ на полимеры
Слайд 6
Описание слайда:
Рентгенолитография:
Воздействие СИ на ПММА
Слайд 7
Описание слайда:
Рентгенолитография:
Слайд 8
Описание слайда:
Рентгенолитография:
Слайд 9
Описание слайда:
Слайд 10
Описание слайда:
Слайд 11
Описание слайда:
Изготовление микроструктур
Слайд 12
Описание слайда:
Микросистемная техника
Слайд 13
Описание слайда:
Слайд 14
Описание слайда:
Слайд 15
Описание слайда:
Изготовление микроструктур
Слайд 16
Описание слайда:
Изготовление микроструктур
электронная литография, Е=30 кэВ
Слайд 17
Описание слайда:
Изготовление микроструктур
фотолитография
УФ =3650 А
Слайд 18
Описание слайда:
Слайд 19
Описание слайда:
Чистая комната:
Слайд 20
Описание слайда:
Чистая комната: Установка полирования POLI-100
Слайд 21
Описание слайда:
Чистая комната: центрифуга Spincoater Model P - 6708D
нанесение полимерных пленок до 100 мкм
Слайд 22
Описание слайда:
Чистая комната: установка плазмохимии и магнетронного напыления BookEdwards и вакуумная печь
Слайд 23
Описание слайда:
Чистая комната: участок оптической и электронной микроскопии
Слайд 24
Описание слайда:
Технологический комплекс LIGA в ИЯФ СО РАН:
Слайд 25
Описание слайда:
Слайд 26
Описание слайда:
Слайд 27
Описание слайда:
Слайд 28
Описание слайда:
LIGA-станции в иных центрах СИ
Слайд 29
Описание слайда:
Создание и исследование рентгеношаблонов для ГРЛ
Рентгеношаблон– рисунок из рентгенопоглощающего материала на подложке прозрачной для рентгеновского излучения используемого спектрального диапазона.
Слайд 30
Описание слайда:
Слайд 31
Описание слайда:
Слайд 32
Описание слайда:
Слайд 33
Описание слайда:
Слайд 34
Описание слайда:
Слайд 35
Описание слайда:
Слайд 36
Описание слайда:
Слайд 37
Описание слайда:
Слайд 38
Описание слайда:
Слайд 39
Описание слайда:
Слайд 40
Описание слайда:
Слайд 41
Описание слайда:
Слайд 42
Описание слайда:
Слайд 43
Описание слайда:
Слайд 44
Описание слайда:
Слайд 45
Описание слайда:
Слайд 46
Описание слайда:
Влияние дифракции и вторичных электронов на разрешающую способность
Слайд 47
Описание слайда:
Слайд 48
Описание слайда:
Слайд 49
Описание слайда:
Слайд 50
Описание слайда:
Слайд 51
Описание слайда:
Слайд 52
Описание слайда:
Спасибо за внимание !
Спасибо за внимание !
Слайд 53
Описание слайда:
Слайд 54
Описание слайда:
Скачать презентацию на тему Б.Г.Гольденберг LIGA-технология: базовые принципы и применение можно ниже:
